薄膜的力學(xué)性質(zhì)主要包括附著性質(zhì)、應(yīng)力性質(zhì)、彈性性質(zhì)和機械強度等。薄膜和基片之間的附著性能好壞將直接影響到薄膜的使用性能。在某些情況下還需考慮薄膜的其他力學(xué)性能，如主要用于增強基體的硬度與耐摩擦能力的超硬薄膜，則需要考慮耐壓強度。